Что такое ПЗС с обратной засветкой? (Back-illuminated)

ПЗС представляют собой кремниевую пластину с интегрированной структурой электродов, выполняющих функцию удержания и перемещения заряда к считывающей схеме. В случае ПЗС с прямой засветкой, затворные структуры (обычно поликремневый или индиевый оксид олова) располагаются на лицевой поверхности пластины. Эта затворная структура частично блокирует входящий свет и снижает квантовую эффективность ПЗС.

Одним из способов увеличения квантовой эффективности ПЗС является поворот кремниевой пластины ПЗС так, чтобы затворные структуры находились с тыльной стороны кремния, а толщина пластины сошлифовывается до величин около 15-16 мкм (в случае ПЗС глубокого обеднения, т.н. Deep Depletion – до 40 мкм). Затворы по-прежнему расположены достаточно близко к передней поверхности для захвата заряда при экспонировании.

ПЗС с обратной засветкой характеризуются очень высокой квантовой эффективностью (до 95% в максимуме), но стоят гораздо дороже, чем ПЗС с прямой засветкой.